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四极质谱分析仪 残余气体分析仪

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产品名称: 四极质谱分析仪 残余气体分析仪
产品型号:
产品展商: MKS
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简单介绍

Micro Vision2 产品的技术是基于MKS残余气体分析质谱传感头和气体监控系统的核心技术,利用最先进的射频电路模块和数据采集电路模块,具有卓越的性能,为要求最严格的应用所需,双CPU提供了高稳定的运行,快速和宽范围的动态扫描,使得工艺偏差和气体成分改变的监测变得很容易及卓越的通讯功能。灵活的输入输出性能,易与机台和其他传感器连接。质量数范围:1-300可选,双检测配置。 eVision 2 基于以太网的低成本的残余气体分析仪。利用Web浏览器或通过EasyView软件方便地操作系统。质量数范围:1-200可选,双检测器配置可选。

四极质谱分析仪 残余气体分析仪的详细介绍
  • 工艺监控
  • TOOLweb 工艺和工艺腔环境监测
  • Vision 2000-B 真空本底残余气体分析仪
  • Vision 2000-C 化学气相沉积(CVD)工艺残余气体分析仪
  • Vision 2000-E 刻蚀(Etch)工艺残余气体分析仪
  • Vision 2000-P 物理气相沉积(PVD)工艺残余气体分析仪
  • 200-300mm Resist-Torr 光刻胶检测器
  • HPQ3 高压残余气体分析仪, 主要用于PVD工艺气体检测



  • 大气压气体分析仪
  • Cirrus 2 四极质谱仪  工作在大气压力下的桌上型四极质谱仪,可用于在线测量和分析气体以及其体组成。


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