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MKS电源-射频功率电源

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产品名称: MKS电源-射频功率电源
产品型号:
产品展商: MKS电源
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简单介绍

ENI提供高可靠性的固态电源,其频率从2MHz到60MHz,功率从3百瓦到13千瓦,还可选自动频率跳鞋,广泛应用于Etch,CVD和PVD等工艺。

MKS电源-射频功率电源的详细介绍

中频射频功率电源(2MHz)


  • NOVA系列,功率为2和5千瓦,自动频率调谐可选。
  • Spectrum 系列,功率为5和11千万,自动频率调谐可选。

高频射频功率电源(13.56MHz)


  • elite系列风冷电源,功率为300,600和750瓦。
  • GHW系列电源,功率为1.25,2.5和5千瓦,自动频率调谐可选。
  • Spectrum 系列电源,功率为3千瓦,自动频率调谐可选。
  • SurePower系列电源,功率为3.5,5.5,6.5,10.5和13千瓦,自动频率调谐可选。

超高频射频功率电源(40.68-60MHz)


  • GEW系列电源,功率为3.5和5千瓦,40.68MHz自动频率调谐可选。
  • LVF系列电源,功率为3.5千瓦,60MHz,自动频率调谐可选。




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