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MKS电源-等离子体电源 用于晶圆工艺

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产品名称: MKS电源-等离子体电源 用于晶圆工艺
产品型号:
产品展商: MKS
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简单介绍

ASTeX 远程等离子体电源适用于氧气,氮气,氢气,水汽等气体,广泛应用于CVD,ETCH,去胶等晶圆工艺。

MKS电源-等离子体电源 用于晶圆工艺的详细介绍

产品有以下型号:

R*evolution -AX7690 集成远程等离子体源用于精元工艺。


微波等离子体源:


  • AX2600 集成等离子体系统
  • Smart Power-AX2500系列微波电源
  • ASTeX-AX3060 SmartMatch微波匹配器
  • ASTeX-AX7619 下游等离子体源


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