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氦质谱检漏仪,EBARA真空泵,普发检漏仪,普发真空泵,inficon,压力控制器

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臭氧发生器

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产品名称: 臭氧发生器
产品型号:
产品展商: MKS
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简单介绍

SEMOZON 臭氧发生器以及集成系统 LIQUOZON Smart臭氧水循环系统

臭氧发生器的详细介绍

SEMOZON臭氧发生器及集成系统


  • SEMOZON AX8407/8407C高浓度,高流量臭氧发生器 紧凑型臭氧发生器
  • O3MEGA AX8561集成电子流量,压力控制的臭氧发生器系统
  • SEMOZON AX8550 二通道臭氧发生及恒系统
  • SEMOZON AX8555 四通道臭氧发生器集成系统
  • SEMOZON AX8575 多通道臭氧发生器集成系统 可集成冷却水交换器

LIQUZON臭氧水循环系统


  • LIQUOZON Smart臭氧水递送系统。提供高浓度,大流量臭氧水
  • LIQUOZON Single 臭氧水递送系统。紧凑型设计,适用于单片硅片清洗系统
  • LIQUOZON LoopO3 臭氧水循环递送系统。紧凑型设计,带循环水泵,主要用于硅片清洗工艺
  • LIQUOZON PrimO3 臭氧水循环递送系统。高浓度,大流量,带循环水泵,主要用于硅片清洗工资



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