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金属密封数字质量流量控制器

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产品名称: 金属密封数字质量流量控制器
产品型号:
产品展商: MKS
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简单介绍

新一代多气体/多量程数字质量流量控制器。 实时高精度流量控制是基于先进的数字算法技术,提供精度为设定值的正负1%,相应速度快于500毫秒,不同气体及量程间自由切换的优异功能。 Ethernet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟和数字(RS-485,DeviceNet,Modbus/TCP)通讯接口可选。 ALTA 系列金属密封数字质量流量控制器。精度为设定值的正负1%,相应速度快于1秒,不同气体及量程间自由切换。各种模拟和数字(Profibus,DeviceNet)通讯接口可选。

金属密封数字质量流量控制器的详细介绍
  • P4B多气体/多量程数字质量流量控制器,满量程范围从10sccm-50slm.
  • P9B多气体/多量程/压力不敏感数字质量流量控制器,满量程范围从10sccm-50slm。
  • P250A多气体/多量程数字大流量质量流量控制器,满量程范围从100-250slm。
  • P2A低压质量流量控制器,满量程范围从2-50sccm。
  • P5A集成压力传感器的多气体/多量程数字质量流量控制器,满量程范围从10sccm-50slm。




  • ALTA 1490A/180A数字质量流量控制器/质量流量监视器,满量程范围i额从10sccm-30slm。
  • ALTA MC20A数字质量流量控制器,满量程范围从20-200slm。



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