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质量流量控制器的技术参数

 
质量流量控制器是用来对各种气体的质量流量进行进行精密测量与控制的一种仪器,他大量用于电子工艺设备中,如扩散,氧化,外延,CVD,等离子刻蚀等,以及镀膜设备,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等行业。 
质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC),它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制电路和分流器控制通道等部件组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
技术参数:
流量规格:0~330sccm(mL/MIN)
准确度:±0.2%F.S
线性:±0.1%F.S
重复精度:±0.1%F.S
工作压差范围:0~0.45MPa
较大耐压:1MPa
工作环境温度:0~65℃
电气连接:DB9
输出信号:RS232、RS485、CAN、(RS485及CAN带电气隔离)
电源:15~40VDC
标准气路接头:M8*1
气路管径:3.2mm
可以测量的气体类别:Ar、N2、O2、Air、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2

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