早在1738年，瑞士人丹尼尔**伯努利以伯努利方程为基础利用差压法测量水流量。后来意大利人G.B.文丘里研究用文丘里管测量流量，并于1791年发表了研究结果。1886年，美国人C.赫谢尔用文丘里管制成测量水流量的实用装置20世纪初期到中期,原有的测量原理逐渐成熟,人们开始探索新的测量原理自1910年起美国开始研制测量明沟中水流量的槽式流量计。1922年，R.L.帕歇尔将原文丘里水槽改革为帕歇尔水槽（于1929年为美国土木工程师协会所命名）。1911～1912年,美籍匈牙利人T.von卡门提出卡门涡街的新理论。30年代出现探讨用声波测量液体和气体的流速的方法，但到**次世界大战为止未获很大进展，直到1955年才有应用声循环法（两组型）的马克森流量计，用于测量航空燃料的流量。
1945年，A.科林用交变磁场成功地测量了血液流动的情况。60年代以后，仪表向精密化、小型化等方向发展。例如，为了提高差压仪表的**度而出现力平衡差压变送器和电容式差压变送器；为使电磁流量计的传感器小型化和改善信噪比而出现用非均匀磁场和低频励磁方式的电磁流量计。
随着集成电路技术的迅速发展，具有锁相环路技术的超声（波）流量计也得到了普遍应用。微型计算机的广泛应用，进一步提高了流量测量的能力，如激光多普勒流速计应用微型计算机可处理较为复杂的信号。
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