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氦质谱检漏仪应用于真空渗碳炉检漏方法

一、应用于真空渗碳炉检漏原因
真空渗碳炉 (Vacuum Cementite Furnace) 使用神港精机(shinko seiki)罗茨泵机组(SR-75BⅡ+ SMB-C15) 抽真空,要求真空度需要到达 1x10-3 mbar 左右真空环境下才能有效工作,
由于渗碳处理需要温度大约900℃ 下进行,如果密封不好的话工件很容易氧化,造成整炉的工件保费,损失巨大。所以真空渗碳炉的密封性非常重要,检漏非常关键。
二、应用于真空渗碳炉检漏方法
Pfeiffer HLT560 氦质谱检漏仪 提供两种检漏模式, 真空模式 (vacuum mode) 及正压模式 (sniffer mode),真空渗碳炉多采用检漏仪的负压模式既真空模式检漏,将 氦质谱检漏仪 与真空系统连接,较好连接在排气口附近(也就是真空泵组的进气口处),真空系统都会有泵组在抽真空,所以在泵的进气口处连接氦质谱检漏仪是在气流的流向上,很容易有一部分分压分给 氦质谱检漏仪 ,从而达到检漏的效果。
Pfeiffer 氦质谱检漏仪 连接在机械泵组的进气口处,首先启动泵组,对渗碳炉抽真空,同时启动 氦质谱检漏仪 ,此时质谱检漏仪上面的 Pfeiffer EVB 025 角阀一定处于关闭状态,当泵组抽真空到达一定真空度(较高背压为 25 mbar业界较高)时,可以进行检漏操作。
检漏工作准备就绪,泵组抽真空到达一定真空度后,氦质谱检漏仪为待机状态,EVB 025 角阀处于关闭状态,此时可以按下检漏仪启动键,氦质谱检漏仪开始测漏,然后慢慢开启角阀,观察漏率值的变化,由于检漏仪和真空渗碳炉的腔体联通,有真空度的变化,所以漏率值也会产生变化,等到漏率值平稳,再将角阀慢慢开到较大,等待数值稳定,可以喷氦气进行检漏。
当喷氦气后 氦质谱检漏仪 显示漏率值超过设定值,并且有明显的报警声音,表明此处有漏点,然后在漏电处做标记,在进行其他部位的检漏。 
当检测中找到漏电后,由于有氦气进入真空系统,所以漏率值会缓慢上升,为了更快速检测下一个漏电,可以按下显示屏左下方的 ZERO 键,对检漏仪进行本底清零,随即可以查找下一个漏点,达到节省时间的效果。

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